Nguồn gốc:
Trung Quốc
Hàng hiệu:
KACISE
Chứng nhận:
CE
Số mô hình:
KGD-MQ-537
Cảm biến khí hồng ngoại KGD-MQ-537 sử dụng công nghệ Hồng ngoại không phân tán (NDIR) để đo chính xác các loại khí bao gồm SiF4, CF4, SF6, NF3 và CO2 trong các ứng dụng bán dẫn. Được thiết kế với khả năng tương thích với các kích thước, mặt bích và giao thức truyền thông thông thường của thiết bị, cảm biến này lý tưởng để phát hiện điểm cuối trong quá trình làm sạch và lắng đọng chất bán dẫn, cũng như phát hiện thiết bị đầu cuối để làm sạch buồng, giúp giảm thời gian làm sạch, cắt giảm chi phí và tăng năng suất.
| tham số | Chi tiết |
|---|---|
| Nguyên tắc phát hiện | NDIR |
| Khí được phát hiện | SiF4, CF4, SF6, NF3, CO2 |
| Phạm vi đo | 1-264ppm (0-200mTorr) |
| Độ lặp lại | ±0,5% |
| tuyến tính | ±1% FS |
| Giới hạn phát hiện | 1ppm |
Gửi yêu cầu của bạn trực tiếp đến chúng tôi
english
français
Deutsch
Italiano
Русский
Español
português
Nederlandse
ελληνικά
日本語
한국
العربية
हिन्दी
Türkçe
indonesia
tiếng Việt
ไทย
বাংলা
فارسی
polski
