Nguồn gốc:
Trung Quốc
Hàng hiệu:
KACISE
Chứng nhận:
CE
Số mô hình:
KGD-MQ-537
KGD - MQ - 537 cảm biến khí hồng ngoại
Bảng giới thiệu sản phẩm
Bộ cảm biến khí hồng ngoại KGD - MQ - 537 dựa trên công nghệ hồng ngoại không phân tán (NDIR). Nó có thể đo chính xác các khí như SiF4, CF4, SF6, NF3,và CO2 được tạo ra trong các ứng dụng bán dẫnNó tương thích với các kích thước, vòm và giao thức liên lạc được đặt trước trong thiết bị. Nó có thể được sử dụng để phát hiện điểm cuối trong quá trình lắng đọng và làm sạch bán dẫn,cũng như phát hiện đầu cuối để làm sạch buồng, giúp giảm thời gian làm sạch, cắt giảm chi phí và tăng sản lượng.
Tính năng sản phẩm
Các thông số kỹ thuật
| Parameter | Chi tiết |
| Nguyên tắc phát hiện | NDIR |
| Khí được phát hiện | SiF4, CF4, SF6, NF3, CO2 |
| Phạm vi đo | 1 - 264ppm (0 - 200mTorr) |
| Khả năng lặp lại | ± 0,5% |
| Tính tuyến tính | ± 1% F.S. |
| Giới hạn phát hiện | 1ppm |
Gửi yêu cầu của bạn trực tiếp đến chúng tôi
